超純水設備助力集成電路產業高質量發展

　　在當今時代，集成電路產業于國民經濟和社會發展進程中，占據著戰略性主導地位。它不單單是轉變經濟發展方式、調整產業結構以及維護國家安全的關鍵支撐，更是培育與發展戰略性新興產業，推動信息化和工業化深度融合的核心與基礎。過去十年間，我國集成電路產業步入快速發展通道，產業規模得以迅速拓展，產業結構持續優化升級。

　　隨著經濟的持續進步，集成電路設計對水質的要求日益嚴苛。在生產環節，超純水成為保障集成電路性能的關鍵要素。展望未來數年，集成電路制造商數量的增多以及制造能力的提升，將進一步拉動集成電路行業對超純水制備的需求。這不僅體現在需求 “數量” 的增長上，更因集成電路制造愈發精密，對超純水純度和穩定性的 “質量” 要求也會同步提高。

　　長期以來，混床離子交換技術作為超純水制備的常規工藝，在超純水生產領域應用頗為廣泛。不過，該技術存在明顯短板，需要周期性再生，且在再生過程中會耗費大量化學藥品(酸堿)與工業純水，同時還會引發一定的環境問題。鑒于此，研發無酸堿超純水系統成為行業發展的迫切需求。

　　傳統離子交換技術已逐漸難以契合現代工業發展與環保要求。在此背景下，融合膜、樹脂以及電化學原理的 EDI 技術應運而生，引發了水處理技術的重大變革。EDI 技術在離子交換樹脂再生過程中，采用電能替代酸堿，更加契合當下全球的環保理念。

　　EDI 系統通常應用于反滲透系統之后，能夠取代傳統的混床離子交換技術，穩定生產超純水。超純水系統將反滲透水處理設備、EDI 系統和拋光混床相結合來制備超純水。這不僅是一種創新的超純水制備技術，更是一種兼具環保、經濟優勢且具備巨大發展潛力的超純水制備工藝。

　　超純水設備具備諸多優勢，能夠連續穩定地生產優質超純水，不會因樹脂再生而中斷運行。其結構設計緊湊，占地面積小，能夠為企業節省大量空間資源。與傳統超純水制備方法相比，超純水設備在制備高質量超純水方面，展現出更為出色的穩定性與持續性。